使用变形镜生成贝塞尔光束进行激光加工。现在普遍是利用高斯激光进行聚焦加工,但是想要获得尽可能小的微孔和尽可能深的孔深时,高斯光束适用性不高,所以使用变形镜生成贝塞尔光束进行激光微加工并且在一些高深径比微孔结构的器件领域有着十分重要的应用价值。
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使用变形镜生成贝塞尔光束进行激光加工。现在普遍是利用高斯激光进行聚焦加工,但是想要获得尽可能小的微孔和尽可能深的孔深时,高斯光束适用性不高,所以使用变形镜生成贝塞尔光束进行激光微加工并且在一些高深径比微孔结构的器件领域有着十分重要的应用价值。